對(duì)于不同波長(zhǎng)的膜系，需有針對(duì)性地選擇薄膜材料進(jìn)行鍍制。膜料種類繁多，一般來(lái)說(shuō)選擇膜料應(yīng) 考慮材料的透明度、折射率和消光系數(shù)、機(jī)械牢固性、化學(xué)穩(wěn)定性和抗輻射性等。本文中光學(xué)薄膜的工 作波長(zhǎng)為 1064 nm，應(yīng)選擇在這個(gè)范圍內(nèi)透明度盡可能高的介質(zhì)材料。材料的折射率也是一個(gè)非常重要 的參數(shù)，其主要受材料種類、作用波長(zhǎng)、晶體結(jié)構(gòu)、集聚密度及膜層成分等幾個(gè)方面的因素制約，每種 材料的折射率都有一個(gè)變化范圍，使用時(shí)希望在此范圍內(nèi)的折射率是穩(wěn)定且均勻的。通常來(lái)說(shuō)，折射率 的大小大致按照下列次序遞增：氟化物、氧化物、硫化物及半導(dǎo)體材料。對(duì)于高性能增透膜和激光反射 膜，任何微小的光學(xué)損耗都是不可忽視的。在此波段區(qū)域內(nèi)，低折射率材料的消光系數(shù)與高折射率材料 相比，要低 1～2 個(gè)能級(jí)。理想的薄膜具有較高的牢固性及耐久性，這就要求薄膜材料具有良好的機(jī)械性 能及化學(xué)穩(wěn)定性。對(duì)于高溫、高能激光薄膜，應(yīng)著重考慮高輻射能量對(duì)薄膜的破壞性[3]。從激光損傷的 角度來(lái)看，關(guān)鍵是選用吸收系數(shù)較小的膜料。光學(xué)薄膜使用環(huán)境要求材料抗高能輻射，故選擇氧化鉿 （HfO2）、三氧化二鋁（Al2O3）、二氧化硅（SiO2）和氟化鎂（MgF2）作為高低折射率材料，這些材料 是目前公認(rèn)的具有較高抗能量損傷閾值、較好機(jī)械穩(wěn)定性與熱穩(wěn)定性的材料，從紫外到紅外有較寬的透 明區(qū)，高溫條件下膜層牢固，也具有良好的抗輻射性能。